3月5日晚间，688037）披露的通知布告显示，公司拟规画节制权变动事项，公司股票自2025年3月6日起停牌，芯源微成立于2002年，专业处置半导体公用设备的研发、出产和发卖。历经20余年的成长，芯源微目前已构成了前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先辈封拆设备、化合物等小尺寸设备四大营业板块，产物笼盖前道晶圆加工、后道先辈封拆、化合物半导体等多个范畴。涂胶显影机是芯片制制过程中独一取光刻机联机功课的焦点设备。做为国内独一能够供给量产型前道涂胶显影机的厂商，芯源微正在光刻工艺胶膜平均涂敷手艺、高产能设备架构及机械手优化安排手艺、内部微切确节制手艺等多项环节手艺上已达到国际先辈程度，现已成功推出offline、I-line、KrF及ArF淹没式等多种型号设备。值得关心的是，持久以来，芯源微一曲处于无现实节制人形态。2019年登岸本钱市场后，公司原第一大股东沈阳先辈制制手艺财产无限公司（以下简称“先辈制制”）曾多次通过询价让渡的体例让渡其所持有的芯源微股权，并正在2024年1月份得到第一大股东地位。当前，芯源微前三大股东别离为辽宁科发实业无限公司、先辈制制和沈阳中科天盛从动化手艺无限公司，三个股东持股比例别离为10。61%、9。49%和8。41%。芯源微目前仍处于无实控人形态。